金融界2025年8月16日消息炒股平台,国家知识产权局信息显示,吉林华微电子股份有限公司申请一项名为“超级结半导体器件的制作方法及超级结半导体器件”的专利,公开号CN120500066A,申请日期为2025年05月。
专利摘要显示,本申请提供一种超级结半导体器件的制作方法及超级结半导体器件,涉及半导体芯片技术领域,所述方法包括:在第一导电类型衬底的一侧形成第一导电类型外延层;对第一导电类型外延层进行刻蚀,形成凹槽,凹槽包括暴露出第一导电类型外延层的底面及与底面连接的侧壁;进行第二导电类型杂质的注入,形成覆盖侧壁的补偿层,补偿层内的第二导电类型杂质的浓度与侧壁的倾角呈负相关;如此,在芯片制程过程中,凹槽刻蚀角度波动时可以对凹槽内杂质的整体剂量进行自对准补偿,提高产品工艺容差,降低生产成本。
天眼查资料显示,吉林华微电子股份有限公司,成立于1999年,位于吉林市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本96029.5304万人民币。通过天眼查大数据分析,吉林华微电子股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目45次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息269条,此外企业还拥有行政许可18个。
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